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2020年3月31日。風機過濾器機組是由風機、高效（超高效）空氣過濾器、箱體及控製單元等組成的空氣淨化處理設備，具有一定的模數尺寸和標準規格，通常多台組合使用、采用標準吊頂龍骨安裝，簡稱FFU，該機箱具有分設於相對兩側麵的進風口和排風口，該機箱劃分為進風口所在的風機室和排風口所在過濾室，且過濾窗體一體化裝接於機箱排風口的內側麵，其中該機箱在過濾器進風口外側設有化學過濾網，該化學過濾網內填充有懸空的活性炭泡棉。本實用新型FFU風機過濾器的應用，其有益效果表現在：在不增加能耗的情況下，能將潔淨室內大氣中的化學汙染濃度降到更低，更直接地實時控製分子級氣態汙染，為芯片生產工廠等用戶提供合理的潔淨環境，滿足了用戶的需求，促進微電子行業的發展。風機過濾器應用範圍：
*大型潔淨室，包括半導體電子潔淨室和製藥類潔淨室；
*醫院、實驗室、生物製品車間、生物安全櫃、潔淨工作台等領域；
*主要應用在1000級（fs209e標準）或iso6級（iso14644 標準）以上級別的潔淨室內；
*結構上主要是潔淨室同天花龍骨和配合使用。
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